Praktikum z vakuové fyziky A _ Úloha 3: Graduace Penningova manometru Úvod Tato úloha se zabývá měřením vlastností Penningova výbojového manometru. Aparatura se skládá z membránové a turbomolekulární vývěvy, ovládacího panelu a elektroniky pro manometry. Pro měření tlaku jsou použity dva kombinované manometry: jeden ionizační se studenou katodou + Pirani a druhý ionizační se žhavenou katodou + Pirani. Kontrolní otázky • Na jakém principu funguje ionizační manometr se studenou katodou? • Jak závisí výbojový proud na tlaku (kalibrační křivka Penningova manometru)? • Proč nestačí aparaturu čerpat membránovou vývěvou? Úkoly a pracovní postup • Prohlédněte si aparaturu a zejména Penningův manometr. • Nejprve změřte závislost výbojového proudu Penningova manometru na napětí, pro dva různé proudy Iq, které tečou elektromagnetem. i • Závislost proudu na napětí vyneste do grafu. • Zadruhé změřte závislost výbojového proudu Penningova manometru na proudu cívkou magnetu, pro dvě různé hodnoty napětí. • Závislost výbojového proudu na proudu cívkou magnetu vyneste do grafu. • Změřte kalibrační křivku Penningova manometru, tzn. závislost výbojového proudu na tlaku pro dvě různé hodnoty napětí. Okomentujte průběh kalibrační křivky. 2