Kromě úvodní přednášky je součástí úvodu do předmětu i exkurze k zařízením, na kterých budou probíhat tyto praktické úlohy předmětu:

1. PECVD, e-beam evaporation, ALD

2. Understanding PECVD in capacitively coupled plasmas

Informace o tom, jak má vypadat protokol, popis úkolů jednotlivých úloh a studijní materiály shrnující základy vakuové techniky a popis jednotlivých zařízeni najdete v kapitole Praktikum, kterou doporučuji studovat průběžně během semestru a co nejdříve si udělat také poznámky k teorii jednotlivých úloh. V případě PECVD vrstev diamond like carbon (DLC) Vám doporučuji prostudovat i následující literaturu: