Technologie depozice tenkých vrstev a povrchových úprav

7. Plasma chemical processing



Chyba: Odkazovaný objekt neexistuje nebo nemáte právo jej číst.
https://is.muni.cz/el/sci/jaro2024/F4280/um/talk-F4280-part07-1-introduction-to-plasma.pdf

Chyba: Odkazovaný objekt neexistuje nebo nemáte právo jej číst.
https://is.muni.cz/el/sci/jaro2024/F4280/um/talk-F4280-part07-2-plasma-kinetics_elementary-processes.pdf

Chyba: Odkazovaný objekt neexistuje nebo nemáte právo jej číst.
https://is.muni.cz/el/sci/jaro2024/F4280/um/talk-F4280-part07-3-1_plasma-sources_lowp.pdf

Chyba: Odkazovaný objekt neexistuje nebo nemáte právo jej číst.
https://is.muni.cz/el/sci/jaro2024/F4280/um/talk-F4280-part07-3-2_atm-pressure-discharges.pdf

Chyba: Odkazovaný objekt neexistuje nebo nemáte právo jej číst.
https://is.muni.cz/el/sci/jaro2024/F4280/um/talk-F4280-part07-4_07-5_PECVD_plasma-treatment.pdf

Chyba: Odkazovaný objekt neexistuje nebo nemáte právo jej číst.
https://is.muni.cz/el/sci/jaro2024/F4280/um/talk-F4280-part07-5-4_plasma-polymers.pdf