F6540 Fyzikální principy technologie výroby polovodičů

Přírodovědecká fakulta
podzim 2011
Rozsah
3/0. 3 kr. (plus ukončení). Ukončení: k.
Vyučující
RNDr. Petr Pánek, Ph.D. (přednášející), doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D. (zástupce)
Garance
prof. RNDr. Josef Humlíček, CSc.
Ústav fyziky kondenzovaných látek – Fyzikální sekce – Přírodovědecká fakulta
Kontaktní osoba: doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.
Rozvrh
Pá 10:00–12:50 Fs1 6/1017
Omezení zápisu do předmětu
Předmět je otevřen studentům libovolného oboru.
Cíle předmětu
Hlavním cílem kurzu je využitím přednášek odborníků z praxe umožnit studentům
- vyjmenovat a popsat jednotlivé kroky při výrobě a zpracování polovodičových materiálů
- aplikovat základní znalosti fyziky za účelem fyzikální a chemický popis výrobních postupů
Osnova
  • Osnova přednášky:
  • Přehled technologie výroby Si desek
  • Růst monokrystalů křemíku
  • Defekty v Si
  • Analýza povrchů ve výrobě polovodičů
  • Dekontaminace a leštění povrchu Si desek
  • Přehled postupu výroby integrovaných obvodů
  • Oxidace Si desek a difuze příměsí
  • Chemické a plazmochemické depozice vrstev z plynné faze
  • Fotolitografie vrstev, leptání SiO2
  • Plazmochemické leptání vrstev, depozice kovových vrstev
  • Aplikace statistických metod v průmyslu
Literatura
  • WOLF, Stanley a Richard N. TAUBER. Silicon Processing for the VLSI Era. Sunset Beach, California, U.S.A.: Lattice Press, 1999, 960 s. Vol. 1: Process Technology. ISBN 978-0961672164. info
  • KERN, Werner. Handbook of Semiconductor Wafer Cleaning Technology: Science, Technology, and Applications. New Jersey, U.S.A.: Noyes Publications, 1993, 623 s. Materials Science and Process Technology Series. ISBN 978-0815513315. info
  • KITTEL, Charles. Úvod do fyziky pevných látek. 1. vyd. Praha: Academia, 1985, 598 s. URL info
Výukové metody
Přednášky odborníků v dané oblasti.
Metody hodnocení
závěrečná samostatná práce
Další komentáře
Studijní materiály
Předmět je vyučován jednou za dva roky.
L.
Předmět je zařazen také v obdobích jaro 2008 - akreditace, jaro 2002, jaro 2004, jaro 2006, jaro 2008, jaro 2010, podzim 2011 - akreditace, jaro 2012 - akreditace, podzim 2013, podzim 2015, podzim 2017, podzim 2019, podzim 2021, podzim 2023.