F3390 Výroba mikro a nanostruktur

Přírodovědecká fakulta
jaro 2020
Rozsah
2/0/0. 2 kr. (plus ukončení). Ukončení: zk.
Vyučující
Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D. (přednášející)
doc. RNDr. Jozef Ráheľ, PhD. (přednášející)
Garance
doc. RNDr. Jozef Ráheľ, PhD.
Ústav fyziky a technologií plazmatu – Fyzikální sekce – Přírodovědecká fakulta
Dodavatelské pracoviště: Ústav fyziky a technologií plazmatu – Fyzikální sekce – Přírodovědecká fakulta
Rozvrh
Čt 9:00–10:50 F3,03015
Omezení zápisu do předmětu
Předmět je nabízen i studentům mimo mateřské obory.
Mateřské obory/plány
Cíle předmětu
Přednášky seznámí studenty se základními metodami a principy přípravy mikro a nano struktur.
Výstupy z učení
Po absolvování předmětu bude student schopen:
- rozumět technologii výroby monokrystalických, polykrystalických a amorfních materiálů, relevatních pro polovodičový a MEMS průmysl;
- vysvětlit fyzikální a technický princip základních metod pro vytváření vrstev z kapalné a plynné fáze, zejména elektrodepozici, spincoating, dipcoating, CVD, ALD, PECVD, vakuové napařování, MBE a magnetronové naprašování;
- vysvětlit princip hlavních technik optické litografie, litografie nabitými svazky a nanolitografie;
- kriticky zhodnotit jednotlivé výhody a nevýhody metod mokrého a suchého leptání;
- popsat hlavní techniky přípravy 1D struktur metodami shora-dolů, včetně techniky elektro-zvlákňování;
- rozumět základním fyzikálním mechanismům zodpovědným za proces samouspořádávání vrstev a nanočástic;
- vysvětlit a porozumět hlavní principy přípravy nanostruktur na bázi uhlíku včetně jejich materiálové a strukturní analýzy;
- porozumět principům tvorby nanočástic a vlivu plazmatu při jejich vytváření;
Osnova
  • Chemické metody přípravy nanočástic
  • Separace nanočástic a analýza velikosti
  • Plazmová depozice a plazmové leptání
  • Elektrozvlákňování (electrospinning) a nanovlákna
  • Nanostrukturovaný uhlík (nanotrubky, grafény, fulerény)
  • Maskovací (template-based) metody syntezy
  • Příprava mikro a nanomechanických struktur
  • Metody nanotisku (nanoimprinting)
Literatura
    doporučená literatura
  • Springer handbook of nanotechnology. Edited by Bharat Bhushan. 2nd/3rd ed. Berlin: Springer, 2010, 1 DVD-ROM. ISBN 9783642025242. info
Výukové metody
přednášky
Metody hodnocení
ústní zkouška
Další komentáře
Studijní materiály
Předmět je vyučován každoročně.
Nachází se v prerekvizitách jiných předmětů
Předmět je zařazen také v obdobích jaro 2012 - akreditace, jaro 2014, jaro 2015, jaro 2016, jaro 2017, jaro 2018, jaro 2019, podzim 2020, podzim 2021, podzim 2022, podzim 2023, podzim 2024.