FB100 Plasma chemical processes (Plazmochemické procesy)

Přírodovědecká fakulta
podzim 2004
Rozsah
2/0. Ukončení: z.
Vyučující
prof. RNDr. Mirko Černák, CSc. (přednášející)
prof. RNDr. Jan Janča, DrSc. (přednášející)
doc. Ing. Pavel Šunka, CSc. (přednášející)
Garance
prof. RNDr. Jan Janča, DrSc.
Ústav fyziky a technologií plazmatu – Fyzikální sekce – Přírodovědecká fakulta
Kontaktní osoba: prof. RNDr. Jan Janča, DrSc.
Rozvrh
Pá 10:00–11:50 03039
Předpoklady
F5170 Fyzika plazmatu
Omezení zápisu do předmětu
Předmět je nabízen i studentům mimo mateřské obory.
Mateřské obory/plány
Cíle předmětu
Rate of plasma chemical reaction. Different kinds of plasma chemical reactions. Homogeneous and heterogeneous plasma chemical reactions. Plasma chemical reactors.Power supply and matching networks of plasma chemical reactors.Plasma surface treatment of solid materials. Plasma polymerization. Deposition of thin films. Plasma sputtering and plasma spraying.Deposition of hard and supra hard coatings. Mebranes and semipermeable thin films. Plasma ashing and plasma etching. Plasma chemical processes in semiconductor industry.Plasma in modern lighting techniques.Plasma metallurgy.
Osnova
  • Rate of plasma chemical reaction. Different kinds of plasma chemical reactions. Homogeneous and heterogeneous plasma chemical reactions. Plasma chemical reactors.Power supply and matching networks of plasma chemical reactors.Plasma surface treatment of solid materials. Plasma polymerization. Deposition of thin films. Plasma sputtering and plasma spraying.Deposition of hard and supra hard coatings. Mebranes and semipermeable thin films. Plasma ashing and plasma etching. Plasma chemical processes in semiconductor industry.Plasma in modern lighting techniques.Plasma metallurgy.
Metody hodnocení
Kolovkium
Vyučovací jazyk
Angličtina
Informace učitele
Pro studenty kombinovaného studia bude učitelem dodána vhodná literatura, resp. kopie vybraných částí.
Další komentáře
Poznámka k ukončení předmětu: Způsob ukončení je dán individuálním studijním plánem
Předmět je dovoleno ukončit i mimo zkouškové období.
Předmět je vyučován každoročně.
Předmět je zařazen také v obdobích podzim 2007 - akreditace, podzim 1999, podzim 2010 - akreditace, podzim 2000, podzim 2001, podzim 2002, podzim 2003, podzim 2005, podzim 2006, podzim 2007, podzim 2008, podzim 2009, podzim 2010, podzim 2011, podzim 2011 - akreditace, jaro 2012 - akreditace, podzim 2012, podzim 2013, podzim 2014, podzim 2015, podzim 2016, podzim 2017, podzim 2018, podzim 2019, podzim 2020, podzim 2021, podzim 2022, podzim 2023, podzim 2024.