F5150 Fyzika tenkých vrstev

Přírodovědecká fakulta
podzim 2006
Rozsah
2/1/0. 4 kr. Ukončení: z.
Vyučující
doc. RNDr. Karel Navrátil, CSc. (přednášející)
doc. RNDr. Karel Navrátil, CSc. (cvičící)
Garance
prof. RNDr. Josef Humlíček, CSc.
Ústav fyziky kondenzovaných látek – Fyzikální sekce – Přírodovědecká fakulta
Kontaktní osoba: doc. RNDr. Karel Navrátil, CSc.
Rozvrh
Út 13:00–14:50 F3,03015, Út 15:00–15:50 F3,03015
Omezení zápisu do předmětu
Předmět je nabízen i studentům mimo mateřské obory.
Mateřské obory/plány
Osnova
  • Technologie přípravy tenkých vrstev. Vakuové termické napařovaní, katodové rozprašování, fyzikální metody přípravy epitaxních vrstev, chemické metody přípravy vrstev,anodická a termická oxidace. Měření tloušťky tenké vrstvy a analýza vrstev: elektrické metody, gravimetrická metoda, rezonanční krystal, profilometrická metoda, emisní a absorpční metody. Chemická analýza, strukturní analýza povrchu a objemu vrstev. Nukleace a růst tenkých vrstev: proces růstu vrstev, koalescence, vliv depozičních parametrů na růst vrstev, epitaxní růst,teorie epitaxe. Mechanické vlastnosti vrstev: napětí ve vrstvách, původ vlastního napětí, mechanické vlastnosti izolovaných vrstev, adheze vrstev.Transportní jevy ve vrstvách: souvislé kovové vrstvy, transport náboje v ostrůvkovitých kovových vrstvách, vodivost polovodičových a dielektrických vrstev. Optické vlastnosti tenkých vrstev: optická syntéza a analýza systému vrstev, optické vlastnosti vrstev. Aplikace tenkých vrstev.
Další komentáře
Předmět je dovoleno ukončit i mimo zkouškové období.
Předmět je vyučován jednou za dva roky.
S.
Předmět je zařazen také v obdobích podzim 2000, podzim 2002, podzim 2004, podzim 2008.