FB555 Complex plasma diagnostics

Přírodovědecká fakulta
podzim 2013
Rozsah
0/0. 1 kr. Ukončení: z.
Vyučující
prof. Holger Kersten, Ph.D. (přednášející)
Garance
prof. RNDr. Mirko Černák, CSc.
Ústav fyziky a technologií plazmatu – Fyzikální sekce – Přírodovědecká fakulta
Kontaktní osoba: doc. RNDr. Antonín Brablec, CSc.
Dodavatelské pracoviště: Ústav fyziky a technologií plazmatu – Fyzikální sekce – Přírodovědecká fakulta
Omezení zápisu do předmětu
Předmět je otevřen studentům libovolného oboru.
Cíle předmětu
Students understand principles of selected subjects from plasma physics sucha as synthesis and modification of powder particles including non-convetional diagnostics methods.
Osnova
  • Synthesis and Modification of Powder Particles in Process Plasmas
  • • applications and perspectives of nano- and micro-particles
  • • particle growth in reactive plasmas (silane, hydrocarbons …)
  • • cluster sources and deposition
  • • nano-composite materials
  • • modification of particles by process plasmas (sputtering, PECVD …)
  • Micro-particles as Plasma Probes
  • • in front of floating walls and in front of (biased) electrodes
  • • in plasma process sources (magnetron, ion beam source)
  • • energy balance of particles / substrates in plasma processing
  • • special (phosphor) particles for temperature measurement • force measurements
  • Determination of Energy Fluxes in Process Plasmas
  • • energy balance at substrate surface
  • • measurement of energy fluxes / principles
  • by spatial gradient;by compensation of deposited power (active thermal probe);by calorimetric probes (passive thermal probe)
  • • determination of energy fluxes in process plasmas / examples
  • rf plasma; ECR afterglow; magnetron sputtering of thin films (dc, dc+rf, HiPIMS; plasma downer reactor (powder treatment;ion beam source; APPJ
  • Non-conventional Plasma and Sheath Diagnostics
  • • motivation: ion beam source operation
  • • measurement of momentum transfer
  • • characteristics of the beam : ions and neutrals
  • • additional effect due to momentum transfer / sputtering
  • • sputter propellant instrument
  • • testing the sputtering model / parametric measurements
Literatura
    doporučená literatura
  • THORNE, Anne P., Ulf LITZÉN a Sveneric JOHANSSON. Spectrophysics : principles and applications. Berlin: Springer-Verlag, 1999, xiv, 433. ISBN 3540651179. info
Výukové metody
lecture
Metody hodnocení
The presence during lectures is obligatory. The subject is finished as common discussion on relevant problems.
Vyučovací jazyk
Angličtina
Další komentáře
Předmět je vyučován jednorázově.
Výuka probíhá blokově.
  • Statistika zápisu (nejnovější)
  • Permalink: https://is.muni.cz/predmet/sci/podzim2013/FB555