F6400 Praktikum v laboratoři polovodičových technologií

Přírodovědecká fakulta
podzim 2019
Rozsah
0/0/2. 2 kr. (plus ukončení). Ukončení: z.
Vyučující
doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D. (přednášející)
Garance
prof. RNDr. Josef Humlíček, CSc.
Ústav fyziky kondenzovaných látek – Fyzikální sekce – Přírodovědecká fakulta
Kontaktní osoba: doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.
Dodavatelské pracoviště: Ústav fyziky kondenzovaných látek – Fyzikální sekce – Přírodovědecká fakulta
Omezení zápisu do předmětu
Předmět je nabízen i studentům mimo mateřské obory.
Mateřské obory/plány
Cíle předmětu
Cílem předmětu je umožnit studentům realizaci kompletního technologického postupu vedoucího k přípravě aktivních polovodičových součástek (diody, tranzistory, testovací struktury) na křemíkové desce v polovodičové laboratoři - čistých prostorách pro mikroelektroniku. Během a po skončení bude využito příslušných analyzačních metod pro analýzu strukturních a elektrických vlastností připravovaných součástek.
Osnova
  • Čisté prostory pro mikroelektroniku.
  • Práce s křemíkovými deskami.
  • Diody, tranzistory, elektronické součástky, čipy.
  • Oxidace, dotace, naprašování.
  • Fotolitografie.
  • Čištění, leptání.
  • Měření tlouštěk.
  • Elektrická měření.
Výukové metody
Laboratorní cvičení.
Metody hodnocení
Pro ukončení předmětu zápočtem je třeba předložit řádně vedený laboratorní deník a výsledky naměřených parametrů součástek.
Další komentáře
Předmět je vyučován každoročně.
Výuka probíhá každý týden.
Předmět je zařazen také v obdobích podzim 2011, podzim 2011 - akreditace, jaro 2012 - akreditace, podzim 2012, podzim 2013, podzim 2014, podzim 2015, podzim 2016, podzim 2017, podzim 2018, podzim 2020, podzim 2021, podzim 2022, podzim 2023, podzim 2024.