FB240E Physics of high-frequency discharges

Přírodovědecká fakulta
podzim 2021
Rozsah
2/0/0. 2 kr. Ukončení: z.
Vyučující
doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D. (přednášející)
Garance
doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.
Ústav fyziky a technologií plazmatu – Fyzikální sekce – Přírodovědecká fakulta
Kontaktní osoba: doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.
Dodavatelské pracoviště: Ústav fyziky a technologií plazmatu – Fyzikální sekce – Přírodovědecká fakulta
Předpoklady
! FB240 Fyzika vf. výbojů
Knowledge of the basics of plasma physics
Omezení zápisu do předmětu
Předmět je otevřen studentům libovolného oboru.
Jiné omezení: The course F3390E is the English version of the course FB240. Student can not gain credits for both FB240E and FB240.
Cíle předmětu
Understanding of RF and MW discharges
Výstupy z učení
Student should gain insight into the physics of RF (namely capacitive) discharges.
Osnova
  • Capacitively coupled high frequency discharges
  • Sheath, bulk plasma
  • Discharge asymmetry
  • Plasma heating
  • Regimes of capacitive discharges
  • Inductive and helicon discharges
  • Waves in plasma
  • MW discharges
Výukové metody
Lectures
Metody hodnocení
Quantitative solution of a problem from the physics of hf. discharges.
Vyučovací jazyk
Angličtina
Informace učitele
The lecture FB240E is the English version of the lecture FB240. The course will be opened only if a foreign student will register to this course. Otherwise, only the Czech version FB240 will be opened.
Další komentáře
Studijní materiály
Předmět je vyučován každoročně.
Výuka probíhá každý týden.
English version of FB240. Student can not gain credits for both FB240 and FB240E. The course is one of courses made from the parent lecture FB240 Plasma physics 3, the content is similar to the original lecture FB240 (teached before 2021).
Nachází se v prerekvizitách jiných předmětů
Předmět je zařazen také v obdobích podzim 2022, podzim 2023, podzim 2024.