FB502 Deposition and analysis of thin films

Přírodovědecká fakulta
podzim 2021
Rozsah
1/2/0. 3 kr. Ukončení: z.
Vyučující
doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D. (cvičící)
Mgr. Daniel Franta, Ph.D. (cvičící)
Mgr. Jana Jurmanová, Ph.D. (cvičící)
doc. Mgr. Pavel Slavíček, Ph.D. (cvičící)
doc. Mgr. Pavel Souček, Ph.D. (cvičící)
RNDr. Monika Stupavská, PhD. (cvičící)
Mgr. Lukáš Zábranský, Ph.D. (cvičící)
Garance
doc. Mgr. Pavel Souček, Ph.D.
Ústav fyziky a technologií plazmatu – Fyzikální sekce – Přírodovědecká fakulta
Kontaktní osoba: doc. Mgr. Pavel Souček, Ph.D.
Dodavatelské pracoviště: Ústav fyziky a technologií plazmatu – Fyzikální sekce – Přírodovědecká fakulta
Omezení zápisu do předmětu
Předmět je otevřen studentům libovolného oboru.
Cíle předmětu
This course provides students with the means to familiarize themselves with the principles, possibilities and limitations of thin film deposition techniques as well as the techniques for their analyses. This knowledge and experiences are necessary for a correct choice of methods utilised during the students' research work during their studies as well as during their future careers.

The objectives can be summarized as:
- to familiarize the students with different thin film deposition techniques
- to familiarize the students with different techniques for thin film analyses
- to enable the students to acquire practical skills with these techniques
Výstupy z učení
After completing the course, the student will be able to:
- understand the different deposition techniques
- understand the different analysis techniques
- critically asses the possibilities and limitations of the different techniques
- correctly choose the techniques to achieve desired results
Osnova
  • 1. PVD/PE-CVD deposition techniques
  • 2. XPS - X-ray Photoelectron Spectroscopy
  • 3. SEM - Scanning Electron Microscopy
  • 4. Micro- and Nanoindentation
  • 5. Advanced Ellipsometry Methods
  • 6. AFM - Atomic Force Microscopy
  • 7. X-Ray Diffraction
  • 9. Raman Spectrometry
  • 10. Surface Energy Analysis
Literatura
    doporučená literatura
  • Handbook of Thin Film Technology, FREY, Hartmut, KHAN, Hamid R, ISBN 978-3-642-05429-7
  • Handbook of thin-film deposition processes and techniques : principles, methods, equipment, and applications. Edited by Krishna Seshan. 2nd ed. Norwich, N.Y.: Noyes Publications, 2002, xxviii, 62. ISBN 0815514425. info
Výukové metody
lectures and laboratories
Metody hodnocení
Successful completion of the course will be based on completed laboratory reports.
Vyučovací jazyk
Angličtina
Další komentáře
Studijní materiály
Předmět je zařazen také v obdobích podzim 2019, podzim 2020, podzim 2022, podzim 2023, podzim 2024.