PřF:FB502 Deposition and film analysis - Informace o předmětu

FB502 Deposition and analysis of thin films

Rozsah

1/2/0. 3 kr. Ukončení: z.
Vyučováno kontaktně

Vyučující

doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D. (cvičící)
Mgr. Daniel Franta, Ph.D. (cvičící)
Mgr. Jana Jurmanová, Ph.D. (cvičící)
doc. Mgr. Pavel Slavíček, Ph.D. (cvičící)
doc. Mgr. Pavel Souček, Ph.D. (cvičící)
RNDr. Monika Stupavská, PhD. (cvičící)
Mgr. Lukáš Zábranský, Ph.D. (cvičící)

Garance

doc. Mgr. Pavel Souček, Ph.D.
Ústav fyziky a technologií plazmatu – Fyzikální sekce – Přírodovědecká fakulta
Kontaktní osoba: doc. Mgr. Pavel Souček, Ph.D.
Dodavatelské pracoviště: Ústav fyziky a technologií plazmatu – Fyzikální sekce – Přírodovědecká fakulta

Rozvrh

St 12:00–12:50 Fs2 6/4003, St 13:00–14:50 Fs2 6/4003

Omezení zápisu do předmětu

Předmět je otevřen studentům libovolného oboru.

Cíle předmětu

This course provides students with the means to familiarize themselves with the principles, possibilities and limitations of thin film deposition techniques as well as the techniques for their analyses. This knowledge and experiences are necessary for a correct choice of methods utilised during the students' research work during their studies as well as during their future careers.

The objectives can be summarized as:
- to familiarize the students with different thin film deposition techniques
- to familiarize the students with different techniques for thin film analyses
- to enable the students to acquire practical skills with these techniques

Výstupy z učení

After completing the course, the student will be able to:
- understand the different deposition techniques
- understand the different analysis techniques
- critically asses the possibilities and limitations of the different techniques
- correctly choose the techniques to achieve desired results

Osnova

• 1. PVD/PE-CVD deposition techniques
• 2. XPS - X-ray Photoelectron Spectroscopy
• 3. SEM - Scanning Electron Microscopy
• 4. Micro- and Nanoindentation
• 5. Advanced Ellipsometry Methods
• 6. AFM - Atomic Force Microscopy
• 7. X-Ray Diffraction
• 9. Raman Spectrometry
• 10. Surface Energy Analysis

Literatura

doporučená literatura
• Handbook of Thin Film Technology, FREY, Hartmut, KHAN, Hamid R, ISBN 978-3-642-05429-7
• Handbook of thin-film deposition processes and techniques : principles, methods, equipment, and applications. Edited by Krishna Seshan. 2nd ed. Norwich, N.Y.: Noyes Publications, 2002, xxviii, 62. ISBN 0815514425. info

Výukové metody

lectures and laboratories

Metody hodnocení

Successful completion of the course will be based on completed laboratory reports.

Vyučovací jazyk

Angličtina

Další komentáře

Studijní materiály

• Statistika zápisu (nejnovější)
  
• Permalink: https://is.muni.cz/predmet/sci/podzim2024/FB502